催化精馏制备电子级硅烷关键技术

所属分类：现代化工产业

所属单位：福州大学

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成果简介

硅烷，又称甲硅烷，是一种应用最广、影响最大的电子特气。在半导体微电子行业中，硅烷可用于制备各种微电子薄膜，例如微晶、氧化硅、单晶膜、金属硅化物等，还可用于半导体器件（碳化硅、砷化镓等）和量子阱材料的制备。由于硅烷制造的金属硅化物，具有纯度高和可精细调控的特点，使得它成为许多其他硅源无法取代的重要电子特种气体。氯硅烷歧化法是以三氯氢硅为原料，通过歧化法得到硅烷，同时副产四氯化硅。因为四氯化硅经过氢化后又可转化为三氯氢硅，作为原料使用，所以整个工艺流程简单，且无废物产生，属于绿色工艺，已成为当前硅烷制备的主流工艺。然而传统的氯硅法制备硅烷采用的是固定床工艺，由于歧化反应平衡转化率偏低，致使未反应原料大量循环，能耗偏高。

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