6系、7系铝合金抛光液

所属分类：新型材料产业

所属单位：河北工业大学

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联系方式：0951-6087161 /5020588

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成果简介

河北工业大学微电子所是我国最早开展化学机械平坦化研究的科研单位。历经多年的产学研用联合攻关,在国际上首次提出了碱性CMP新理论、新技术和新材料。2009年国务院批准由河北工业大学承担国家02重大专项前瞻性应用示范项目“极大规模集成电路平坦化工艺与材料”,此项目是第一个由地方院校承担的国家02重大专项项目,国拨资金3265万元。6系、7系铝合金抛光液作为延伸研究成果之一,在比亚迪、捷普等公司已通过测试,现处于产业化阶段。此产品是适用于五轴抛光机,碟抛机及平面研磨机的铝合金抛光液。

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