项目采用熔盐电解精炼-电子束熔炼-锻造工艺，成功制备出纯度高于4N7的电子级高纯钛靶材，突破了电子级高纯钛靶材制备的关键技术。项目在如下方面取得创新性成果：（1）通过对熔盐电解过程杂质Fe、Cr、V、O含量的影响因素及控制条件研究，掌握了主要杂质元素去除的关键控制条件，结合工艺设备优化设计实现了降低能耗，形成了具有自主知识产权的熔盐电解制备电子级高纯钛晶体的产业化生产技术。（2）通过对电子束熔炼提纯工艺进行研究，确定了电子束熔炼最佳工艺条件，成功试制出电子级高纯钛锭，在此基础上，设计了特有的旋转式连续进出料电子束熔炼系统，开展了技术成果的产业化转化与应用。（3）通过对电子级高纯钛靶材的机加工制备过程研究，开发了高纯钛靶材热锻工艺，实现了机加工过程氧增量和微观组织的控制，成功制备出晶粒细小、组织均匀的电子级高纯钛靶材产品。经客户试用评估，本项目试制的高纯钛靶材产品，其性能指标完全满足要求，并能部分替代进口同类产品。项目研究成果，打破了电子级高纯钛靶材生产技术瓶颈，形成了具有自主知识产权的电子级高纯钛靶生产工艺技术，为公司后续产品的开发奠定了坚实基础，提升了企业竞争力。