秦 明

个人简介

【研究方向】近年来一直在从事硅微传感器件与系统领域的研究工作，正在开展MEMS风速风向传感器及其系统的研究。【经历】1967年生，1994年在东南大学获硕士学位，1997年在东南大学获博士学位，1998-1999年香港科技大学博士后，现担任东南大学MEMS教育部重点实验室副主任、教授、博士生导师。先后在硅硅键合技术、场发射阵列、镍诱导硅晶化技术、硅微传感器、微机械光纤开关等方面开展了研究工作。现担任中国电子学会敏感技术分会气湿敏传感技术委员会委员，仪器仪表学会传感器分会常务理事。【研究成果】近几年在MEMS气象传感器的理论和实验研究上取得了一些研究成果。在国内外核心刊物上发表论文40余篇，被SCI收录10余篇，EI收录20篇，申请获得国家发明专利10余项，并有一项专利获得转让。曾主持、参与多个国家自然基金、国家863科研计划等。