研究方向 光电精密仪器,并行激光直写,景深延拓方法,灰度光刻成像,光刻成像系统
个人简介
研究方向:光电精密仪器与检测技术个人简介许忠保,男,1963.11出生,1985,7武汉测绘科技大学光仪系本科毕业,1992.5武汉测绘科技大学光电工程系硕士毕业,2005.5华中科技大学仪器系博士毕业。主要研究方向为光电精密仪器与检测技术。研究课题1)国家自然科学基金“微分干涉相衬层析显微术的关键技术研究”,2007.1-2009.12。2)武汉利和光信息公司“并行激光直写系统”,2010.9-2011.93)国家自然科学基金“基于二元纯相位光瞳模板的景深延拓方法研究”。2011.1-2013.124)省重点基金“长焦深超分辨数字灰度光刻成像方法研究”。2012.1-2013.125)武汉市科技局“无掩模数字光刻成像系统”。2011.1-2012.12 获奖及专利获得专利一项
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